大功率电子束作为一种理想的在真空条件下可快速改变功率并可聚焦、偏转和

扫描的清洁能源，通过对材料无高温局限的能量注入，实现任意材料的加热、熔化

或蒸发，是材料科学与工程领域内最活跃的一个新领域，创造了辉煌的业绩。

       采用冷阴极技术研发制造的百千瓦级电子枪是一种以高压辉光放电为基础的大

功率电子束发生器，填补了世界空白，在多个领域内具有广泛的应用，如熔炼，焊

接，提纯，薄膜制备并可用于铀分离及高端技术的开发与应用，具有前瞻性。

设备基本技术数据:

功率: 100KW ~ 300 KW 加速电压: 30 KV

束流:3.3A~10A 束斑:≥f2

工艺室真空范围 : 10 ~ 10-³Pa

电子枪枪室真空范围 :≥2X(10 ~ 10-3)Pa

工艺室允许使用的气体:惰性气体氧化或还原气体均可。