TCO即透明光伏导电氧化物镀膜玻璃，是制造非晶硅薄膜太阳能电池的关键

原材料之一。目前制造TCO玻璃主要有两种方法,-种是CVD (化学气相沉积)技术，

另一种就是PVD的磁控溅射技术。虽然化学气象沉积法是现在主要的生产ZnO2的

方法，但磁控溅射生产TCO以其成本低，无毒，易于掺杂(如掺铝的氧化锌AZO )

而更具有广阔的前景。我司生产的TCO水平直列式PVD生产设备就是为太阳能薄膜

电池非晶生产线提供导电玻璃。该机使用的技术是我司自有知识产权，已获国家新

技术新发明专利。

基本工艺流程为:

封闭式加热室-低真空室-等待室-磁控溅射室-等待室-低真空室-出片室。

非晶硅柔性薄膜太阳能电池板用途广泛