TGDi600型离子镀膜机

多功能溅射镀膜实验机，

应用于科学研究，

安装有3个微型磁控溅射源，

安装有相互屏蔽机构，可实现多层复，合膜沉积，

在溅射沉积同时，基片可以加热、偏压轰击，

安装有多个电极法兰等，便于根据不同需求加以改造。

1)∅600 X 600mm

2 )可根据客户需求和产量，进行定制。

用CVD法可沉积

中300mm金刚石。居国外先进水平，

国内领先水平